在真空烘箱干燥樣品過(guò)程中，干燥室內(nèi)的壓力始終低于大氣壓力，氣體分子數(shù)少，密度低，含氧量低，因而能干燥容易氧化變質(zhì)的物料、易燃易爆的危險(xiǎn)品等。對(duì)藥品、食品和生物制品能起到一定的消毒滅菌作用，可以減少物料染菌的機(jī)會(huì)或者抑制某些細(xì)菌的生長(zhǎng)。
   真空烘箱的過(guò)程就是將被干燥物料置放在密閉的干燥室內(nèi)，用真空系統(tǒng)抽真空的同時(shí)對(duì)被干燥物料不斷加熱，使物料內(nèi)部的水分通過(guò)壓力差或濃度差擴(kuò)散到表面，水分子在物料表面獲得足夠的動(dòng)能，在克服分子間的相互吸引力后，逃逸到真空室的低壓空間，從而被真空泵抽走的過(guò)程。
因?yàn)樗谄^(guò)程中其溫度與蒸汽壓是成正比的，其比例關(guān)系如圖所示。所以真空干燥時(shí)物料中的水分在低溫下就能汽化，可以實(shí)現(xiàn)低溫干燥。這對(duì)于某些藥品、食品和農(nóng)副產(chǎn)品中熱敏性物料的干燥是有利的。
例如，糖液超過(guò)70~C部分成分就會(huì)變成褐色，降低產(chǎn)品的商品價(jià)值；維生素C超過(guò)40℃就分解，改變了原有性能；蛋白質(zhì)在高溫下變性，改變了物料的營(yíng)養(yǎng)成分等。另外，在低溫下干燥，對(duì)熱能的利用率是合理的。